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含四个坩埚的分子蒸发器

蒸发有机化合物的理想器件

最高温度可达 1000 K

可同时沉积多种分子

相互干扰最小

使用寿命

体积小

 四个坩埚的分子蒸发器(250 kB pdf)


有机分子束外延生长(OMBE)的通用蒸发器。紧凑的设计使操作四个坩埚(四个分子源)成为可能,而且蒸发器的尺寸小可安装到DN38CF法兰上。有效的辐射隔板屏蔽了坩埚之间的热辐射及相互干扰。独立的加热丝和热电偶传感器确保迅速而准确地控制每一个坩埚的温度。





  • 4 个独立的坩埚朝向同一点.

  • 内置的钨丝产生独立热辐射,加热特定坩埚.

  • 紧凑的设计保证坩埚均匀的温度分布.

  • 巧妙的挡板设计让两个或多个坩埚可同时操作.

  • 可安装在DN38CF法兰上;更大的法兰可定制.

  • 预留DN16CF法兰口,便于外接真空泵.

  • 蒸发器长度可定制.

  • 如通过DN插板阀与真空腔体相连,可快速更换样品/分子.

  • K 型热电偶确保了独立准确的温度测量.

  • 可使用水或液氮来更好地屏蔽热辐射.

  • 有效的温度隔离系统将相互干扰降到最低.







技术数据



  坩埚材料   钨
  钽
  石英
  氧化铝 (其它材料可订做)
  坩埚体积   0.07 立方厘米 (其它材料可订做)
  温度范围   可升至 1000 K
  温度稳定性   < 1 K / 小时, 不带PID 控制器
  温度互扰度   < 10 K 当温差小于 500 K
  制冷剂   水
  液氮
  安装   DN38CF 法兰
  最大烘烤温度   200C











温度测试
(水冷)
  电压[V]   电流[A]   功率[W]   坩埚 1 [C]   坩埚 2 [C]   坩埚 3 [C]   坩埚 4 [C]   冷却头 [C]
  0.50   0.90   0.45   75.7   31.8   32.0   32.2   31.5
  0.75   1.08   0.81   133.8   32.7   33.3   33.3   32.8
  1.00   1.19   1.19   199.2   33.4   35.0   34.8   33.7
  1.25   1.31   1.64   270.0   35.2   35.7   35.6   34.4
  1.50   1.42   2.13   332.2   35.7   36.4   36.4   34.8
  1.73   1.53   2.64   390.2   36.8   38.0   37.9   35.4
  2.00   1.62   3.25   442.0   37.3   38.5   38.4   35.5
  2.50   1.86   4.65   531.3   39.7   42.3   41.6   36.7
  3.00   2.03   6.10   611.3   40.3   44.8   42.8   36.1
  3.50   2.19   7.66   680.4   41.5   45.2   44.0   36.8
  4.00   2.34   9.34   730.3   41.6   46.3   45.3   36.7

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