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电子束加热样品架

内置加热丝, 可电子束或辐射加热样品

可测量样品/晶体温度

样品安装方便

独立的样品加热丝电接头

样品可快速冷却

 电子束加热样品架数据页(191 kB pdf)


加热样品架是一个高度通用的带有内置温度传感器的可变温样品架。样品可通过辐射或电子轰击加热。模块化设计保证了样品种类和形状选择的高度灵活性,而且保证样品安装简单迅捷。电子束加热样品架也和许多商用扫描探针显微镜兼容。.




样品

  • 各种几何形状的样品可以通过一个简单的相同形状的盖片封装(如帽状,碟状,饼状等).

  • 样品和样品架接触,处于等电位。如果和 Dodecon 样品架操作台 联合使用,可以方便的读取沉积或轰击时的离子流数值.

  • 模块化设计使得样品和加热模块容易分离,便于安装和更换样品.


温度测量

  • 样品实际温度可以通过连接在样品背面的热电偶准确地测出 (精度 ~ 5 K).

  • 测量温度范围: 5 –1500 K (K-型热电偶). 其它测量范围可订做.

  • 温度读取通过热电偶和 Dodecon样品架操作台上的弹性热电偶触头接触来实现.


样品加热

  • 一个内置的加热模块包含一个独立的钨丝,允许

    • 辐射加热 (可加至500 K);

    • 电子束轰击加热 (可加至1200 K).

  • 在钨丝上加负高压可以进行电子书轰击加热 (电压加到 1.2 kV, 激发电流可达 18 mA)

  • 电子束加热尤其适用于要求快速和高温退火的样品(快速退火, 例如金属晶体制备).

  • 灯丝电流和高压通过和 Dodecon 样品架操作台上的弹性电触头接触来实现.


样品冷却





技术数据


  样品横向最大尺寸   9 mm
  样品最大高度   与应用相关
  热电偶   K 型(5-1500 K)
  其它类型可订做
  样品加热   可加至 500 K (辐射)
  可加至 1200 K (电子束)
  灯丝最大电压   -1.2 kV
  灯丝最大电压   18 mA
  样品冷却*   降到 97 K (液氮)
  降到40 K (液氦)
  * 样品架安装在 Dodecon 样品架操作台







用Dodecon电子束加热样品架获得的Ag(001) 表面的原子分辨率STM图像.

 © 2018 Dodecon Nanotechnology

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